قياس انعكاسية السطح المستخدم بالتزامن مع القياس الصوتي كمؤشر نوعي على اختلافات مثل الخشونة والكثافة وجودة الفيلم.
توضح مادة تقنية من Onto Innovation أن قياس سماكة أفلام SiCr لا يكشف كل اختلافات البنية والخواص التي تؤثر في أداء مقاومات شرائح BCD. وتعرض استخدام تقنية الموجات فوق الصوتية البيكوثانية مع قياس الانعكاسية المتزامن لرصد تغيرات الترسيب، خصوصاً المرتبطة بتدفق غاز N₂.