تدفق غاز N₂ أثناء عملية الترسيب، وقد ارتبط اختلافه في التجربة بتغيرات في السماكة والانعكاسية والبنية السطحية للفيلم.
توضح مادة تقنية من Onto Innovation أن قياس سماكة أفلام SiCr لا يكشف كل اختلافات البنية والخواص التي تؤثر في أداء مقاومات شرائح BCD. وتعرض استخدام تقنية الموجات فوق الصوتية البيكوثانية مع قياس الانعكاسية المتزامن لرصد تغيرات الترسيب، خصوصاً المرتبطة بتدفق غاز N₂.