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Un artículo técnico de Onto Innovation explica que medir el grosor de las películas de SiCr no revela todas las diferencias estructurales y de propiedades que afectan al rendimiento de las resistencias de chips BCD. Presenta el uso de la tecnología de ondas ultrasónicas picosegundo junto con la medición simultánea de la reflectividad para detectar cambios en la deposición, especialmente los relacionados con el flujo de gas N₂.