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研究人员发现干法光刻胶在极紫外光和电子束下的变异行为

研究人员发现干法光刻胶在极紫外光和电子束下的变异行为

一项联合研究揭示了基于金属有机沸石骨架的光刻胶的独特特性，这些材料根据所使用的辐射源表现出不同的图案打印响应。