Aktuelle Berichte, Erklärungen und verbundene Technologiethemen.
Ein technischer Beitrag von Onto Innovation erläutert, dass die Messung der SiCr-Filmdicke nicht alle Struktur- und Eigenschaftsunterschiede sichtbar macht, die die Leistung von BCD-Chipwiderständen beeinflussen. Vorgestellt wird der Einsatz der pikosekundengenauen Ultraschalltechnik in Kombination mit einer synchronen Reflexivitätsmessung, um Abweichungen bei der Abscheidung zu erkennen, insbesondere im Zusammenhang mit dem N₂-Gasfluss.