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BCD-integrierte Schaltungen

Eine Technologie für integrierte Schaltungen, die analoge Funktionen, digitale Steuerung und Leistungsmanagement auf einem einzigen Chip vereint und unter anderem in Automobilanwendungen, medizinischen Produkten und Unterhaltungselektronik eingesetzt wird.

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Warum die Filmdicke allein nicht ausreicht, um SiCr-Widerstände in BCD-Chips zu steuern

Warum die Filmdicke allein nicht ausreicht, um SiCr-Widerstände in BCD-Chips zu steuern

Ein technischer Beitrag von Onto Innovation erläutert, dass die Messung der SiCr-Filmdicke nicht alle Struktur- und Eigenschaftsunterschiede sichtbar macht, die die Leistung von BCD-Chipwiderständen beeinflussen. Vorgestellt wird der Einsatz der pikosekundengenauen Ultraschalltechnik in Kombination mit einer synchronen Reflexivitätsmessung, um Abweichungen bei der Abscheidung zu erkennen, insbesondere im Zusammenhang mit dem N₂-Gasfluss.