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Onto Innovation의 기술 자료는 SiCr 필름 두께 측정만으로는 BCD 칩의 저항기 성능에 영향을 미치는 모든 구조 및 특성 차이를 파악할 수 없음을 설명합니다. 이 자료는 증착 변화, 특히 N₂ 가스 유량과 관련된 변화를 감지하기 위해 피코초 초음파 기술과 동시 반사율 측정을 함께 사용하는 방법을 소개합니다.