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Un article technique d’Onto Innovation explique que la mesure de l’épaisseur des films de SiCr ne révèle pas toutes les différences de structure et de propriétés qui influencent les performances des résistances des puces BCD. Il présente l’utilisation de la technologie des ultrasons picoseconde, associée à une mesure simultanée de la réflectivité, pour détecter les variations du dépôt, notamment celles liées au débit de gaz N₂.