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Circuits intégrés BCD

Technologie de circuits qui intègre les fonctions analogiques, le contrôle numérique et la gestion de l’alimentation sur une seule puce, utilisée dans des applications telles que l’automobile, les produits médicaux et l’électronique grand public.

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Pourquoi l’épaisseur du film seule ne suffit-elle pas à contrôler les résistances SiCr dans les puces BCD ?

Pourquoi l’épaisseur du film seule ne suffit-elle pas à contrôler les résistances SiCr dans les puces BCD ?

Un article technique d’Onto Innovation explique que la mesure de l’épaisseur des films de SiCr ne révèle pas toutes les différences de structure et de propriétés qui influencent les performances des résistances des puces BCD. Il présente l’utilisation de la technologie des ultrasons picoseconde, associée à une mesure simultanée de la réflectivité, pour détecter les variations du dépôt, notamment celles liées au débit de gaz N₂.