Следите за последними материалами, объяснениями и связанными технологическими историями.
Китайские исследователи представили техническое исследование, предлагающее использование платино-вольфрамового сплава (Pt-W) в качестве альтернативного материала для поглотителей масок в технологии экстремальной ультрафиолетовой литографии (EUV) с высокой числовой апертурой, что может способствовать повышению точности производства.