芯片与半导体

人工智能增强显微成像揭示先进芯片中的互连缺陷

研究人员开发了一种基于人工智能的方法来提高声学显微成像的精度,从而更容易检测先进封装技术中的微细互连缺陷。

2026-11-02
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certi.news Editorial Team
人工智能增强显微成像揭示先进芯片中的互连缺陷

先进封装中的检测挑战

随着半导体行业持续向更高程度的微型化和复杂化架构发展,传统的失效分析方法面临着巨大的技术障碍。在“倒装芯片”(Flip-Chip)中检测极低介电常数(Extreme Low K)绝缘层中的微小裂纹尤为困难,这些组件被广泛应用于后端工艺(BEOL)的先进封装工程中。

基于人工智能的技术解决方案

由来自 Materials Center Leoben、PVA TePla 公司以及 Advanced Semiconductor Engineering (ASE) 公司的专家组成的研究团队发表了一篇技术论文,提出了一种旨在提高声学显微成像(SAM)图像质量的全新人工智能工作流程。这一创新的目标是解决所谓的“白凸点”(White Bumps)问题,即通过传统手段难以检测的互连缺陷。

实际发生了什么改变?

这项新技术依靠人工智能驱动的图像处理算法来增强声学显微成像输出的对比度和清晰度。这种改进不仅限于单纯的图像澄清,还有助于:

  • 提高检测精度:使工程师能够识别在传统图像中被认为不可见或模糊的裂纹和结构缺陷。
  • 提高封装可靠性:降低产线流出缺陷芯片的可能性,从而提升先进封装工艺的效率。
  • 支持微型化:提供一种能够应对现代芯片中纳米级尺寸所带来的物理挑战的检测工具。

这一步骤是行业持续努力将机器学习工具融入质量控制流程的一部分,因为这种方法减少了图像解译对人工评估的依赖,从而降低了高速制造环境中的误差范围。

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Semiconductor Engineering
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