최신 보도, 해설 및 관련 기술 스토리를 확인하세요.
중국 연구진은 고개구수(High-NA) 극자외선(EUV) 리소그래피 기술에서 마스크 흡수체 소재로 백금-텅스텐(Pt-W) 합금을 사용하는 기술 연구를 발표했으며, 이는 제조 정밀도 향상에 기여할 수 있을 것으로 기대됩니다.