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三项研究推动 GaN 实现更高电压、更低电阻和更佳散热

最新研究展示了改善基于氮化镓的功率电子和通信技术的三条路径:一种可承受约 4 千伏的晶体管、一种低电阻 p-GaN 接触,以及将 GaN 晶体管集成到金刚石层中以实现散热。

2026-09-01
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فريق تحرير certi.news
三项研究推动 GaN 实现更高电压、更低电阻和更佳散热

三项最新研究针对限制氮化镓(GaN)在功率电子和通信领域应用的主要问题,提出了不同解决方案:承受高电压、降低接触电阻以及热管理。相关成果来自由洛桑联邦理工学院(EPFL)、麻省理工学院(MIT)等机构,以及名古屋大学、康奈尔大学、佐治亚理工学院和宾夕法尼亚州立大学等高校,还有中国的研究机构所领导的研究团队。

可承受约 4 千伏的晶体管

EPFL 研究人员开发了一类新的 GaN 晶体管,并将其命名为 本征极化超结(intrinsic polarization superjunction,iPSJ)。据该团队介绍,这种器件由沉积在低成本硅衬底上的 GaN 层制成,在击穿前可承受约 4 千伏电压,同时保持较低电阻。

该设计利用 GaN 中的天然极化效应,形成两组彼此平行的正电荷和电子阵列。通过调节各层厚度,使两种电荷达到平衡,从而防止晶体管关断时多余电荷积聚,并有助于使电压沿器件长度均匀分布。该方法还免去了化学掺杂的需求。研究人员将其与传统 GaN 晶体管进行了比较,后者通常在约 600 至 650 伏时发生击穿。

研究团队认为,这种在宽温度范围内承受电压的能力,可能使该技术适用于电动汽车系统和工业功率系统,但目前公布的材料尚未证明这些器件已经具备商业化生产条件。

降低 p-GaN 接触电阻

在另一条研究路径中,名古屋大学、MIT、康奈尔大学、香港城市大学和中国科学院的研究人员,通过在 p-GaN 表面沉积一层超薄镁层,然后在 600 摄氏度下加热 5 分钟,降低了 p 型 GaN 接触的电阻。

据该团队介绍,这种方法实现了(1–3)× 10⁻⁴ Ω cm²的比接触电阻,是研究报告中 p-GaN 薄层接触的最低数值之一。与使用较厚的镁层相比,该方法避免了表面粗糙化;而薄层样品显示,即使厚度达到 10 纳米,氧化也仅限于最上方的表面层。

在短时热处理过程中,镁会扩散到表面区域并缩窄耗尽区,从而促进空穴隧穿并降低电阻。研究人员表示,与自下而上的晶体生长相比,该工艺更简单、更快速且成本更低;他们正在将其应用于 LED 灯和电动汽车功率晶体管。

以金刚石作为热扩散层

第三项研究由 MIT、佐治亚理工学院和宾夕法尼亚州立大学开展,将 GaN 晶体管集成到一层超薄单晶金刚石中。该层充当热扩散器,平衡 GaN 与硅之间的温度,使器件能够接近峰值性能,同时不牺牲可靠性。

该工艺首先从晶圆上切割出小型 GaN 薄片,然后使用飞秒激光在金刚石中刻蚀凹槽。放置固定层并将薄片嵌入凹槽后,施加热量和压力,随后在结构上方添加绝缘层和金属层。研究团队利用该技术制造了一款 4 瓦无线功率放大器,面向 FR3 频段的 6G 应用。

潜在应用可能扩展到高功率雷达、卫星通信、工业无人机以及数据中心的功率转换。实际上,这些成果表明,GaN 的改进并不只取决于沟道材料本身;连接、散热和封装都可能决定理论性能能否在实际系统中得到应用。

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