المصطلحات

Hyper-NA EUV

بنية مقترحة للطباعة الحجرية بالأشعة فوق البنفسجية القصوى بفتحة عددية لا تقل عن 0.75 وقد تتيح تصنيع ميزات تصل إلى 5 نانومترات.