الرقائق وأشباه الموصلات
سبيكة البلاتين والتنجستن: حل واعد لتقليل سماكة ممتصات أقنعة الطباعة الحجرية EUV عالية الفتحة
كشف باحثون صينيون عن دراسة تقنية تقترح استخدام سبيكة البلاتين والتنجستن (Pt-W) كمادة بديلة لممتصات الأقنعة في تقنية الطباعة الحجرية فوق البنفسجية الشديدة (EUV) ذات الفتحة الرقمية العالية، مما قد يسهم في تحسين دقة التصنيع.
2026-10-25