극자외선을 이용한 칩 인쇄 기술로, 이 보고서는 이를 높은 개구 수 시스템으로 확장하는 방안을 다룹니다.
Semiconductor Engineering의 보고서는 2차원 반도체 성장, 초박막 게이트 절연체, 고개구수 EUV 노광, 비트 플립 공격으로부터 AI 가속기를 보호하는 기술, 메모리 인터페이스 및 집적 광학을 다루는 7개의 연구 논문을 소개한다.